每一次曝光称为一个“shot”,曝光区域中就可以有几个不同的器件设计(又称为“die”)一个是过程一个是器件设计无法比较。
在集成电路中,die(芯片)是一小块半导体材料,在其上制造了给定的功能电路。Die 又称裸晶或裸片,Die指的是芯片未封装前的晶粒,是从硅晶元(Wafer)上用激光切割而成的小片(Die),每一个Die就是一个独立的功能芯片,最终将被作为一个单位而被封装起来成为我们常见的芯片。
剑桥词典里对 Die 名词性质的解释: a block of metal with a special shape, or with a pattern cut into it, that is used for shaping other pieces of metal such as coins, or for making patterns on paper or leather 一种具有特殊形状或带有图案的金属块,用于塑造硬币等其他金属片的形状,或用于在纸或皮革上制作图案,
在国外知乎Quora中有个回答,是源于diced(dice现在分词),指的是将wafer切成小方块的工艺。
其在然片里面的意思是指片上的单个品体管电容器、电阻器等微小构件。这些构件被制造出来后,需要通过切割工艺将它们从晶圆上分离出来,这个分离出来的单个构件就被称为die。
在芯片制造工艺中,每个die都是微观世界里的一个独立个体,需要通过各种工艺步骤将它们组装在一起,最终形成功能完整的芯片。由于芯片制造过程中的复杂性和精度要求,die的制造和组装过程都需要高度的精确性和严格的控制。
chip:芯片。是晶圆经过切割、测试,将完好的、稳定的、足容量的die取下,封装而成的,是半导体元件产品的统称。