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MEMS流量传感器


介绍：启芯定制MEMS流量传感器基于气体流过外部热源加热的流路管道时产生的温度场变化来测量气体质量流量，核心MEMS芯片集成一个热源（加热元件）和一对测温元件（分别置于热源的两边）。芯片尺寸，精度，流量量程和功耗均可定制。
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