微孔/纳米孔


介绍：微孔/纳米孔是采用MEMS湿法或者干法刻蚀工艺在不同衬底（包含硅、石英、玻璃、PI、FPC、PET等）上形成微米级和纳米级通孔或者盲孔。针对不同的生物芯片使用环境，可定制不同衬底，不同孔径的芯片，柔性过滤膜，可过滤10um以上的病毒细胞，具体尺寸可定制。
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