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MEMS压力传感器


介绍：启芯定制MEMS压阻式压力传感器可用于差压、表压和绝压测量，可基于单晶硅衬底和SOI衬底，最小尺寸1 mm x1 mm，量程15kPa~3MPa，工作温度可达150°C。在恒定5V直流激励下，满量程输出高，产生的毫伏电压输出和输入压力成线性比例，可以测量出被测介质相对于芯片的真空腔的绝对压强。同时，具有良好的长期稳定性和卓越的重复性。
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