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MEMS气体传感器-微热板


介绍：启芯定制MEMS微热板晶圆是基于MEMS技术加工制造，用于气体传感器。6英寸晶圆，单颗芯片尺寸为1mm*1mm，采用悬膜式结构，功耗低，稳定性好。加热电极材料为Pt，测试电极材料为Au，加热电压为2-3V，最高加热温度300°C，电阻典型值为100Ω。
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