医疗器械模板

定义：外延是指在单晶衬底上淀积一层薄的单晶层，在MEMS中常用的方法是金属有机物化学气相沉积（MOCVD）。掺杂是指在本征半导体中掺入某些微量元素作为杂质，可使半导体的导电性发生显著变化，MEMS工艺的常用掺杂技术主要有两种，即高温（热）扩散和离子注入。